微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术

• 作者: 刘洁丹 李昕欣 王家畴
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS MISSM技术 单硅片单面加工 微型释放窗口
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 885-890
• 分类号: TP212
• 字数: 3605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.07.004

摘要

介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工( MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性.通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体.同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放.该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容.文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
3	王家畴	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	7	12	2.0	3.0
4	刘洁丹	上海交通大学微纳科技研究院	1	1	1.0	1.0