镀制工艺对金刚石薄膜透射率的影响

• 作者: 徐建刚 李云
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 金刚石薄膜 透射率
• 年，卷（期）: 2012,（33）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 8984-8986
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1419字
• 语种: 中文

摘要

用磁控溅射法制备金刚石薄膜,研究了工作气压,溅射电流、镀膜时间三个参数对金刚石薄膜透射率的影响.得到最佳工艺参数:工作气压1.3 Pa,溅射电流0.4A,镀膜时间2 min.镀制的金刚石薄膜可以作为红外元件的保护膜与增透膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐建刚	西安邮电大学理学院	27	58	5.0	5.0
2	李云	西安邮电大学理学院	8	28	3.0	5.0