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InSb薄膜制备工艺发展综述
InSb薄膜制备工艺发展综述
作者:
李锋
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
InSb薄膜
真空蒸镀
热处理
灵敏度
摘要:
综述了InSb薄膜的制备方法,氧化和热处理工艺,以及InSb薄膜的发展现状,介绍了InSb薄膜的分析方法和在各类磁阻元件和传感器中的应用.
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InSb薄膜制备工艺发展综述
来源期刊
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学科
工学
关键词
InSb薄膜
真空蒸镀
热处理
灵敏度
年,卷(期)
2012,(11)
所属期刊栏目
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研究方向
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页数
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分类号
TB383.1
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主办单位:
中国电子商会
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-7712
CN:
11-5879/TM
开本:
16开
出版地:
北京市
邮发代号:
82-224
创刊时间:
2003
语种:
chi
出版文献量(篇)
15286
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35
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