Si/Glass激光键合的仿真及实验研究

• 作者: 吴亚明 张志强 徐静 李绍良
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 激光键合 有限元方法 键合强度 气密性 能谱分析线扫描
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 030 激光加工与应用
• 页码范围: 86-95
• 页数: 10页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0703006

摘要

对Si/Glass激光键台进行了有限元仿真,自主设计激光键合系统并进行了Si/Glass激光键合实验研究、测试与表征.以Si/Glass激光键合的二维传热解析模型为理论基础,应用有限元软件ANSYS仿真了激光功率20～48W时激光键合的三维温度场、键合熔融深度,并预测键合阈值功率为28W.自主设计激光键合系统及实验方案,采用光斑直径150μm、功率30W的Nd∶YAG连续激光实现了Si/Glass的良好激光键合.测试结果表明,激光键合强度最高为阳极键合的5.2倍,激光键合腔体气密性测试泄漏率平均值约9.29×10-9Pa·m3/s,与阳极键合处于同一数量级.采用能谱分析(EDS)线扫描Si/Glass激光键合的界面材料成分,发现键合界面形成过渡层,激光功率30W时过渡层厚度9μm,与仿真结果吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志强	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	259	9647	35.0	96.0
2	徐静	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	29	244	9.0	15.0
3	吴亚明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	35	193	9.0	11.0
4	李绍良	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	4	10	2.0	3.0