掺硼对金刚石膜的形貌影响研究

• 作者: 丰杰 李建国 胡东平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 掺硼 形貌
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 10-13,18
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文

摘要

掺硼金刚石膜由于具有金属的电导率,在电学和电化学领域已显示出广阔的应用前景.在掺硼金刚石膜的制备工艺中,掺硼浓度对金刚石膜形貌具有一定影响.通过采用自制的热丝CVD金刚石沉积设备,采用三氧化二硼固体源制备掺硼金刚石膜,在其他工艺参数一致的情况下,改变硼源量制备不同掺硼浓度的金刚石膜,通过SEM分析掺硼浓度对金刚石膜的形貌影响,并对其机理进行了分析.实验结果显示:随着掺硼浓度的增加,由于硼原子可促进金刚石的形核,使金刚石形核密度增加,导致晶体颗粒向均匀、细小的方向变化;进一步增加掺硼浓度后,由于硼原子促进邻近金刚石颗粒的联结,晶体颗粒又向粗大、尺寸分布不均匀的方向变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丰杰	中国工程物理研究院总体工程研究所	23	116	7.0	9.0
2	胡东平	中国工程物理研究院总体工程研究所	15	79	6.0	8.0
3	李建国	中国工程物理研究院总体工程研究所	26	107	7.0	9.0