晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制

• 作者: 姜晓明 王程 陈兴林
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆扫描光刻系统 学习控制 扫描 时间延迟 有效学习函数
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 1258-1264
• 页数: 7页
• 分类号: TP273
• 字数: 3937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7641/CTA.2013.21090

摘要

本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	姜晓明	哈尔滨工业大学航天学院	8	55	5.0	7.0
3	王程		3	16	2.0	3.0