基于LK光流的模板匹配算法的研究与改进

• 作者: 李向东 王小捷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机器视觉 检测定位 光流法 模板匹配
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.41
• 字数: 2839字
• 语种: 中文

摘要

针对半导体设备中机器视觉的识别定位问题,介绍了传统的LK光流的模板匹配算法,在此基础上提出了附加运动方向光滑约束条件的LK光流的模板匹配算法.该算法采用运动方向光滑约束条件作为正则化项,较好的保持了运动的边界.通过实验分析,采用该算法对芯片进行识别定位,具有精度高,计算速度快的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小捷		2	20	2.0	2.0
2	李向东		1	7	1.0	1.0