一种容易实现的硅片分类机

• 作者: 刘玲玲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机械手 硅片传输 硅片缺口对准 标识识别
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 12-17,35
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 字数: 1478字
• 语种: 中文

摘要

本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的,这里介绍一种关键零部件国内设计、制造的200 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机.本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置),采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件,实现了制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果.介绍了分类机的试验样机经过试验,已经证明了其主要功能的有效性.因此,此分类机具有产品化可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玲玲		1	0	0.0	0.0