不同基底上银薄膜的光电学性质研究

• 作者: 兰慧琴 关贵清 吴杨微 林建平 赖发春
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: AAO模板 石英基片 Ag薄膜 热蒸发 光电学性质
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 87-92
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

用热蒸发的方法,分别在孔径约为200 nm的多孔阳极氧化铝(AAO)模板和空白石英基片上室温沉积厚为25～200 nm的Ag薄膜样品,研究膜厚对两种样品的微观结构和光电学性质的影响.微观结构利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)观测,光电学性质应用分光光度计及Van der Pauw方法检测.结果表明,石英基片上Ag(QuartzAg)薄膜的结晶性能比AAO模板上Ag(AAOAg)薄膜的结晶性能好,当厚为200 nm时,AAOAg薄膜形成纳米颗粒的叠层结构；AAOAg薄膜的全反射率和QuartzAg薄膜的反射率均遵循随膜厚增加而增加的规律.在同一厚度和同一波长条件下,AAOAg薄膜的光学反射率比QuartzAg薄膜小很多,当厚为109 nm时,在可见光和红外光区域,QuartzAg薄膜的反射率超过95％,而AAOAg薄膜的全反射率为40％；QuartzAg薄膜在厚度为25 nm时已导电,而AAOAg薄膜的厚度为37 nm时才开始导电.对于同一厚度,AAOAg薄膜的方块电阻比QuartzAg薄膜的大,随着膜厚的增加,它们的差值从厚为37 nm时的4.90 Ω/口逐渐减小到厚为200 nm时的0.37 Ω/口.