气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响

• 作者: 李雪源 杨文茂 涂铭旌 王锦标 苏永要 赵黎宁
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 铝合金 气体压强 磨损
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 31-36
• 分类号: TG174.444|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.006

摘要

利用等离子体浸没离子注入与沉积设备,在7A04铝合金表面制备类金刚石薄膜,使其表面有较高的硬度和良好的耐磨损性能.分别采用拉曼光谱仪、显微硬度计、纳米划痕仪和摩擦磨损试验机对样品的微观结构、显微硬度、膜基结合力和摩擦磨损性能进行测试.研究了气体压强对薄膜微观结构、显微硬度及摩擦磨损性能的影响.结果表明:在气压为0.2 Pa下制备的薄膜与基体结合力达到了26 mN,具有良好的耐磨损性能；随着气压的升高,薄膜厚度增加,膜基结合力与耐磨损性能下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂铭旌	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	41	176	7.0	11.0
2	苏永要	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	16	61	5.0	7.0
3	王锦标	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	15	63	5.0	7.0
4	杨文茂	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	9	151	3.0	9.0
5	李雪源	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	10	39	2.0	6.0
6	赵黎宁	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	4	13	2.0	3.0