氟含量对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响

• 作者: 张俊彦 张斌 曹忠跃 魏利
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氟化类金刚石 等离子体沉积 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 66-71
• 分类号: TG174.44|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.02.012

摘要

采用直流等离子体沉积的方法制备了具有不同氟含量的类金刚石薄膜.并利用多功能X射线光电子能谱仪(XPS)、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、应力测试仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了含氟类金刚石薄膜的结构、力学性能以及摩擦学性能,并利用场发射扫描电镜(SEM)观察了薄膜断面形貌.结果表明:所制备薄膜的力学性能和摩擦学性能均受到薄膜中氟含量的影响,当F含量(原子数分数)为5.92％时,薄膜显示了优异的力学性能及摩擦学性能,硬度值高达21 GPa,压应力低至0.75 GPa,摩擦因数为0.013,磨损率为9×10-19 m3/(N·m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	201	3903	35.0	56.0
2	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	59	707	12.0	25.0
3	曹忠跃	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	3	13	1.0	3.0
4	魏利	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	2	12	1.0	2.0