全自动光刻机的同步控制方法

• 作者: 宋丽娟 宫晨
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多机械手 同步控制 全自动光刻机
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 新技术应用与研究
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2497字
• 语种: 中文

摘要

对于一种包含多个相对独立又彼此干涉机构的全自动光刻机,设计合理的控制方法才能使各个机构高效而稳定地协同工作.按照机械结构将设备划分为4个控制对象,采用同步控制方法使这4个对象实现并行工作.这种控制方法相对于顺序执行工艺流程的方式,极大地提高了设备的运行效率.而且,这种同步控制方法也可适用于具有类似控制要求的其他设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宫晨	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	10	2.0	3.0
2	宋丽娟	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0