高密度氧化铟锡(ITO)靶材制备工艺的研究进展

• 作者: 付作鑫 杨云峰 王塞北 王松 谢明
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡靶材 高密度 制备
• 年，卷（期）: 2013,（z1）
• 所属期刊栏目: 光、电、磁功能材料
• 页码范围: 207-210,220
• 页数: 5页
• 分类号: TF123.72
• 字数: 5042字
• 语种: 中文

摘要

ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一.综合评述了高密度ITO靶材的研究现状.介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺.比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点.最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢明	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	121	599	12.0	18.0
2	王松	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	33	206	8.0	13.0
3	王塞北	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	25	153	6.0	12.0
4	杨云峰	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	7	19	2.0	4.0
5	付作鑫	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	7	92	4.0	7.0