分子动力学仿真过程中硅晶体位错模型的构建

• 作者: 张亮 郭东明 郭晓光 金洙吉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学仿真 滑移位错 螺旋位错 硅晶体 纳米级磨削
• 年，卷（期）: 2013,（17）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2285-2289
• 页数: 5页
• 分类号: TG580.1
• 字数: 2183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2013.17.003

摘要

基于位错形成机理,在单晶硅晶体结构基础上描述了硅晶体位错形成的过程.应用偶板子模型,构建了60°滑移位错芯和螺旋位错芯,进而得到硅晶体含有60°滑移位错的模型和含有螺旋位错的模型.对含有螺旋位错的硅晶体模型进行了分子动力学仿真计算,分析了含有螺旋位错的硅晶体超精密磨削的加工过程,研究了含有螺旋位错缺陷的硅晶体纳米级磨削机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
2	金洙吉	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	105	1334	18.0	32.0
3	张亮	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	18	111	6.0	9.0
4	郭晓光	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	25	224	9.0	14.0