Al、Sn共掺杂ZnO薄膜（ZATO）的制备及性能研究

• 作者: 张元元 李合琴 李辉 胡仁杰 谢炳超
• 来源期刊: 合肥工业大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铝锡共掺杂氧化锌 磁控溅射 溅射功率 光电性能
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 1439-1442
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5060.2013.12.007

摘要

文章采用射频磁控溅射技术，室温下在玻璃衬底上制备了Al、Sn共掺杂ZnO导电薄膜（ZATO），利用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM ）、紫外-可见光分光光度计、四探针测试仪表征了薄膜的结构与光电性能。实验结果表明，ZATO薄膜具有（002）择优取向，当溅射功率为120 W时，ZATO薄膜在可见光范围的平均透过率大于88％，电阻率为7.46×10-3Ω· cm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李辉	合肥工业大学材料科学与工程学院	51	434	11.0	19.0
2	李合琴	合肥工业大学材料科学与工程学院	71	273	8.0	12.0
3	张元元	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	22	4.0	4.0
4	胡仁杰	合肥工业大学材料科学与工程学院	3	16	3.0	3.0
5	谢炳超	合肥工业大学材料科学与工程学院	1	5	1.0	1.0