Al-H共掺杂ZnO薄膜的形貌及光致发光性能研究

• 作者: 刘细妹 张志明 张效华 徐斌 胡跃辉 陈义川 马德福
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Al-H共掺杂ZnO 光致发光 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 页码范围: 2583-2588
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3144字
• 语种: 中文

摘要

在不同衬底温度条件下采用RF磁控溅射法在石英玻璃上沉积Al-H共掺杂ZnO薄膜.对所有样品进行晶体结构、表面形貌、电学、光学以及室温光致发光性能分析.结果表明:随着衬底温度的升高,ZnO薄膜的结晶度增加,晶粒增大,薄膜致密度增加;薄膜表面起伏变化减小;同时,电阻率最低达到7.58×10-4Ω·cm,透过率保持在75％左右.所有ZnO薄膜样品都以本征发光为主,Al-H共掺杂在一定程度降低ZnO薄膜缺陷发光的强度;随着衬底温度的升高,ZnO薄膜的本征发光强度明显增大;同时在能量为3.45 eV附近观察到了一个紫外发光峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效华	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	25	69	5.0	7.0
2	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
3	陈义川	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
4	马德福	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	12	27	4.0	5.0
5	刘细妹	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	11	28	4.0	5.0
6	徐斌	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	10	28	4.0	5.0
7	张志明	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	10	24	3.0	4.0