射频功率对类金刚石薄膜性能的影响

• 作者: 张殷华 陈林林 黄伟
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频功率 射频等离子体化学气相沉积 类金刚石薄膜 Raman光谱
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1375-1378
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132506.1375

摘要

在不同射频功率条件下,实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度.利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度.实验表明,随着功率的增加,金刚石相的相对分数减少,薄膜的折射率先减小再增加然后减小,射频功率大于910 W时,沉积速率急剧增大.而薄膜的硬度先增加后减小,在射频功率为860 W处获得最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄伟	中国科学院光电技术研究所	84	724	15.0	23.0
2	张殷华	中国科学院光电技术研究所	3	19	3.0	3.0
3	陈林林	中国科学院光电技术研究所	1	4	1.0	1.0