石英陶瓷激光刻蚀加工技术研究

• 作者: 孔令瑞 张菲 曾晓雁 段军
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光微加工 石英陶瓷 刻蚀 表面质量
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 130-135
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP50.111402

摘要

尝试了利用激光进行石英陶瓷刻蚀加工的方法,采用紫外激光器和光纤激光器进行了刻蚀加工实验.加工样品的测试由台阶测试仪以及扫描电镜(SEM)完成,主要观测加工样品的刻蚀深度、刻蚀底面的微观形貌等.实验结果表明,利用激光对石英陶瓷进行刻蚀加工,相对于砂纸或金刚石刻蚀其优点在于激光可以刻蚀出设定的准三维立体结构,刻蚀尺寸、深度可以精确控制.刻蚀量与激光的能量密度、扫描速度等有密切关系.光化学作用与光热作用原理的不同是造成紫外激光和光纤激光的刻蚀结果不同的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁		144	2006	25.0	36.0
2	段军		20	176	8.0	13.0
3	孔令瑞		2	19	1.0	2.0
4	张菲		11	80	6.0	8.0