工业机器人在硅片传输中的设计及应用

• 作者: 王莉 范新丽
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 六轴机器人 石英舟装片机 软件设计
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 行业应用与交流
• 页码范围: 122-124
• 页数: 3页
• 分类号: TP242.2
• 字数: 1846字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了工业机器人的原理及其在光伏行业中的应用,以六轴机器人在石英舟装片设备的设计为例,阐述六轴机器人根据设备的工艺流程进行的硬件和软件设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王莉	中国电子科技集团公司第二研究所	15	50	4.0	6.0
2	范新丽	中国电子科技集团公司第二研究所	4	12	3.0	3.0