纳米化学气相沉积金刚石的拉曼光谱

• 作者: 卢文壮 孙达飞 左敦稳 王正鑫 王浩 薛海鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 化学
• 关键词: 激光技术 拉曼光谱 化学气相沉积金刚石
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 070 薄膜
• 页码范围: 136-141
• 页数: 6页
• 分类号: O657.37|TQ164.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0707002

摘要

拉曼光谱是研究化学气相沉积(CVD)金刚石最有效的手段之一.对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析.紫外拉曼光谱的检验表明,紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景；1140 cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是反聚乙炔的增多和sp2碳散射的增强.可见光拉曼光谱检测发现随着晶粒的减小,1140 cm-1和1460 cm-1峰强度增强,金刚石特征峰强度降低同时其半峰全宽(FWHM)变宽,薄膜中sp3碳含量减少；基体材料由硬质合金变为微米金刚石后,金刚石特征峰强度显著增加,FWHM有较大减小,非sp3碳成分含量明显减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮		94	520	12.0	17.0
2	左敦稳		510	3780	26.0	32.0
3	王浩		62	179	7.0	9.0
4	薛海鹏		6	19	3.0	4.0
5	孙达飞		5	15	3.0	3.0
6	王正鑫		3	6	1.0	2.0