基于SVR的脉冲激光沉积TiN/AlN多层薄膜的工艺优化

• 作者: 曾庆文 皇思洁 蔡从中
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 TiN/AlN硬质多层膜 支持向量回归 回归分析 工艺优化
• 年，卷（期）: 2013,（14）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 2074-2078
• 页数: 5页
• 分类号: O4-39|TP391
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2013.14.022

摘要

根据脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si试样表面沉积制备多层TiN/AlN硬质膜实验数据,应用基于粒子群算法(PSO)寻优的支持向量回归(SVR)方法,建立不同工艺参数下沉积的TiN/AlN多层膜的A1N膜厚及TiN薄膜硬度的SVR预测模型.在相同的训练与测试样本集下,将SVR所得的AlN膜厚预测值与免疫径向基函数(IRBF)神经网络的计算结果进行比较.结果表明,SVR模型训练和预测结果的平均绝对百分误差要比IRBFNN模型的小,其预测精度更高,预测效果更好.应用SVR的TiN薄膜硬度模型对PLD法沉积TiN薄膜的工艺参数进行了优化,分析了多因素对PLD法沉积TiN薄膜硬度的交互作用和影响.该方法可为人们利用PLD法沉积TiN/AlN多层功能薄膜提供科学的理论指导,具有重要的理论意义和实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡从中	重庆大学应用物理系	24	228	7.0	14.0
2	皇思洁	重庆大学应用物理系	3	15	3.0	3.0
3	曾庆文	重庆大学应用物理系	1	5	1.0	1.0