浅谈硅多晶气氛区熔基磷检验异常问题

• 作者: 窦佳粉
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 硅多晶 气氛区熔 电阻率 导电类型
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 22-22
• 页数: 1页
• 字数: 2092字
• 语种: 中文

摘要

介绍了区熔单晶的原理，列举了硅多晶气氛区熔基磷检验过程中电阻率和导电类型异常的几情况，并对异常情况进行原因分析，对实际生产具有一定的指导和借鉴作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	窦佳粉		1	0	0.0	0.0