基于压电技术的光刻机物镜隔振设计与研究

• 作者: 黄静莉
• 来源期刊: 机械工业标准化与质量
• 关键词: 光刻机 投影物镜 压电陶瓷 主动减振 柔性块
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 研讨园地
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 字数: 3001字
• 语种: 中文

摘要

随着大规模集成电路的发展，光刻机物镜曝光的特征线宽指标越来越高，对物镜位置及位置稳定性的要求也与日俱增。为此，本文提出了一种采用压电陶瓷作为作动器与传感器的方法，实现了对光刻机物镜的微振动主动控制。可使物镜位置稳定性提高35%左右，从而提高物镜成像质量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄静莉		2	2	1.0	1.0