生长条件对TiO2薄膜结构及光学性能的影响

• 作者: 张风明 王文爱
• 来源期刊: 聊城大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 激光脉冲沉积 带隙
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 基础科学研究
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: O433
• 字数: 1742字
• 语种: 中文

摘要

为了研究TiO2薄膜的生长机制及结构对其带隙的影响,采用激光脉冲沉积方法在超高真空下制备了TiO2薄膜.X射线衍射结果显示在不同温度和不同缓冲层上生长的TiO2薄膜以板钛矿结构为主,缓冲层对薄膜结构影响不大,高的生长温度提高了薄膜的结晶度.透射谱的结果表明,随着生长温度和生长气压的升高,TiO2的带隙逐渐增大,在生长ZnO做为缓冲层后,TiO2薄膜的结晶度降低,随ZnO结晶度的提高,TiO2对复合薄膜带隙的影响消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张风明	聊城职业技术学院工程学院	8	4	1.0	2.0