制备条件对TiO2薄膜结构和光学性能的影响

• 作者: 任明放 杨玲 王华 袁昌来 许积文
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 TiO2薄膜 sol-gel法 pH值 热处理 结构与性能
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 3449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.09.016

摘要

借调节sol-gel法中溶胶的pH值,薄膜的热处理温度,研究了它们对TiO2薄膜的晶相组成、晶粒大小、表面结构和紫外及可见光吸收性能的影响.结果表明:pH为7时有利于TiO2由锐钛矿向金红石相转变,薄膜的孔隙度为94 nm,有较高的表面粗糙度.pH值升高,TiO2薄膜的孔隙度和颗粒度增大;热处理温度升高,薄膜的紫外吸收发生红移,可见光波段透射率降低,故最佳热处理温度为500 ℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任明放	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	29	138	6.0	10.0
2	王华	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	98	463	13.0	17.0
3	许积文	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	68	171	6.0	10.0
4	杨玲	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	35	103	6.0	8.0
5	袁昌来	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	64	176	7.0	10.0