遗传算法在湿法刻蚀设备温度PID控制中的应用

• 作者: 孙敏 张金凤 郑佳晶
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 遗传算法 湿法刻蚀 PID 控制 温度
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1949字
• 语种: 中文

摘要

在湿法刻蚀的工艺过程中，影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多，温度是其中一个关键因素，所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID 控制方法来实现对温度的控制，进行仿真以及和传统PID 控制比较，在实际应用中得到了很好的结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙敏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	34	4.0	4.0
2	张金凤	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	28	4.0	4.0
3	郑佳晶	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	10	2.0	3.0