自支撑金属薄膜厚度称重法溯源技术的研究

• 作者: 崔京远 徐真杰 朱小平 杜华 王凯 王蔚晨
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 自支撑薄膜 称重法 镀层 X射线荧光分析
• 年，卷（期）: 2014,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TB92
• 字数: 2710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.07

摘要

利用物体的密度、质量、体积三者之间的数学关系,建立称重法测量金属薄膜厚度的测量模型,基于物体密度为一固定常量原理,提出通过测量薄膜的质量和面积来计算薄膜厚度的方法.用3种不同质量、厚度近似的铜膜对此方法进行了试验,并与X射线荧光分析等其它测量方法进行比对和分析,通过测量不确定度分析,验证了称重法的可靠性、实用性和准确性,是自支撑金属薄膜厚度量值的高精度测量和溯源的重要方法,其测量不确定度不超过0.3％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱小平		29	142	6.0	11.0
2	杜华		33	201	8.0	12.0
3	王蔚晨		17	98	5.0	9.0
4	王凯		6	19	2.0	4.0
5	崔京远		5	32	3.0	5.0
6	徐真杰		1	1	1.0	1.0