氧气分压对AZO薄膜晶体结构和光学性能的影响

• 作者: 何欢 李小鹏 沈晓明 符跃春 詹锋 韦小凤 黄瀛
• 来源期刊: 广西大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 氧气分压 光学性能 透射率
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 559-562
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TB43
• 字数: 3328字
• 语种: 中文

摘要

为了研究掺铝氧化锌( AZO)薄膜在制备过程中不同氧气分压下的晶体结构、表面形貌和光学性能的变化,采用脉冲激光沉积法( PLD)在玻璃基片上沉积AZO薄膜。结果表明,当氧气分压为0.8 Pa时,AZO薄膜沿(002)面择优取向生长,具有最好的结晶质量,薄膜表面平整且结构致密,并且呈现出排列均匀的纳米晶粒。同时发现,随着氧气分压从0.2 Pa升高至8.0 Pa,AZO薄膜的紫外吸收边逐渐向长波方向移动。而在可见光范围内,氧气分压对AZO薄膜在可见光区透射率影响不大,透射率均在80%以上。