脉冲偏压占空比对复合离子镀TiCN涂层结构和性能的影响

• 作者: 刘野 李云珂 王萌萌 程芳 范喜迎 黄美东
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复合离子镀 脉冲偏压占空比 TiCN涂层 显微硬度
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 100-106
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.04.016

摘要

采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织结构和力学性能的影响.结果表明:随着脉冲偏压占空比的增加,TiCN涂层的表面大颗粒逐渐减少,表面形貌得到改善.涂层结构中,(111)晶面的择优取向趋势明显,沉积速率和显微硬度均出现先增大后减小的趋势,且在占空比为40％时均达最大值.TiCN涂层的最高硬度为3 800 HV0.025,约为基底硬度的4倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
2	王萌萌	天津师范大学物理与材料科学学院	6	39	3.0	6.0
3	刘野	天津师范大学物理与材料科学学院	10	48	5.0	6.0
4	李云珂	天津师范大学物理与材料科学学院	6	50	5.0	6.0
5	程芳	天津师范大学物理与材料科学学院	4	25	3.0	4.0
6	范喜迎	天津师范大学物理与材料科学学院	3	19	2.0	3.0