分离栅式快闪存储器擦除性能的工艺优化

• 作者: 周儒领 张庆勇 詹奕鹏
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 分离栅式快闪存储器 擦除性能 浮栅 擦除栅 突出角
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 2358字
• 语种: 中文

摘要

随着电子产品的普及，分离栅式快闪存储器作为闪存的一种，由于具有高效的编程速度以及能够完全避免过擦除的能力，无论是在单体还是在嵌入式产品方面都得到了人们更多的关注。随着闪存市场高集成度的发展需求，分离栅式快闪存储器的尺寸也在逐渐地缩小。从结构和工艺优化方面探讨在这一微缩过程中，如何有效提高分离栅式快闪存储器的擦除效率。通过实验发现通过形成非对称性浮栅结构，优化浮栅到擦除栅侧的结构形貌，可以显著改进分离栅式工艺快闪存储器的擦除性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周儒领		2	3	1.0	1.0
2	张庆勇		2	3	1.0	1.0
3	詹奕鹏		3	2	1.0	1.0