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薄膜晶体管（TFT）介绍
薄膜晶体管（TFT）介绍
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摘要：
薄膜晶体管（TFT）是场效应晶体管的一种。人类对薄膜晶体管的研究工作已经有很长的历史。1962年Weimer用多晶CaS薄膜做成了薄膜晶体管。薄膜晶体管通常是在基板上沉积各种不同的薄膜制作而成，这些薄膜包括半导体主动层、介电层和金属电极层。
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