游离碳对SiC薄膜微观结构的影响

• 作者: 王柏臣 金保宏 陈平 高禹
• 来源期刊: 固体火箭技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 化学气相沉积 游离碳 SiC/C复合膜 微观结构
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 结构、材料与工艺
• 页码范围: 258-261
• 页数: 4页
• 分类号: V258
• 字数: 3030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7673/j.issn.1006-2793.2014.02.022

摘要

以一甲基三氯硅烷为先驱体原料（ MTS），H2气为载气，采用化学气相沉积（ CVD）工艺，在Si基体表面制备SiC膜层。利用XPS、XRD、SEM以及HRTEM等表征方法，研究当沉积为SiC＋C时，游离碳对SiC膜层微观结构及其力学性能的影响。结果表明，膜层由SiC和C两相组成，形成SiC/C复合膜层结构，游离碳引起SiC晶粒细化。在SiC/C膜层中，游离碳的石墨化程度低，主要以无定形结构存在于SiC晶粒之间，形成富C区。由于SiC膜层中含有富C区，填充了SiC晶粒之间缺陷，这有利于提高SiC膜层的机械强度，以及改善SiC/Si之间的晶格匹配。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王柏臣		29	127	6.0	10.0
3	陈平		16	82	5.0	8.0
5	高禹		27	105	6.0	8.0
7	金保宏		5	32	2.0	5.0