ZnO基透明导电薄膜的制备与特性研究

• 作者: 刘云龙 史强 和晓晓 李淑红 王文军
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 ZnO/Au/ZnO 低电阻率 机理分析
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 165-168
• 页数: 4页
• 分类号: O433.1|O433.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0607001

摘要

透明导电薄膜被广泛应用于平板显示,太阳能电池等发光行业.透明导电薄膜厚度的减少将导电薄膜的用途大为拓展,目前该薄膜的制备仍然是研究热点.采用激光分子束外延(LMBE)镀膜系统在1.0×10-5Pa的高真空下制备了不同厚度、不同氧压下的ZnO单层膜以及ZnO/Au/ZnO三明治结构薄膜,并进行了光谱及电阻率的测试,运用控制变量法得到ZnO和Au的最优膜层厚度.制备出通透性好(可见光透射率80％以上)、电阻率低(6.89×10-4Ω·cm)厚度均匀的透明导电薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文军		56	238	8.0	13.0
2	刘云龙		37	88	6.0	7.0
3	李淑红		30	88	6.0	8.0
4	史强		19	54	4.0	6.0
5	和晓晓		2	0	0.0	0.0