金刚石自支撑膜衬底生长立方Y2O3薄膜的性能

• 作者: 刘金龙 吕反修 李成明 王猛 郭建超 陈良贤 魏俊俊 黑立富
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 Y2O3 退火 力学性能 红外透过
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 177-181
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射法在抛光的CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,利用XRD,纳米力学探针,划痕仪,FTIR和TEM等手段研究了退火对Y2O3薄膜的结构、力学性能和红外透过率的影响及Y2O3的微观结构.结果表明:通过退火Y2O3薄膜的结晶程度增加,退火后的择优取向仍为立方相(222)晶面结构;薄膜的硬度降低而弹性模量升高,薄膜与金刚石的结合力增加;薄膜的红外透过率略有降低;薄膜为柱状晶结构并存在大量非晶态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学新材料技术研究所	151	1208	18.0	24.0
2	魏俊俊	北京科技大学新材料技术研究所	32	112	5.0	9.0
3	黑立富	北京科技大学新材料技术研究所	39	153	6.0	10.0
4	李成明	北京科技大学新材料技术研究所	71	480	12.0	19.0
5	陈良贤	北京科技大学新材料技术研究所	34	69	4.0	5.0
6	刘金龙	北京科技大学新材料技术研究所	34	82	5.0	7.0
7	王猛	北京科技大学新材料技术研究所	11	56	5.0	7.0
8	郭建超	北京科技大学新材料技术研究所	3	4	2.0	2.0