小型激光直写光刻系统

• 作者: 刘洋 刘涛 徐文东 王闯 胡永璐 赵成强
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光直写 光刻 LabVIEW 自动聚焦
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 273-280
• 页数: 8页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.1016003

摘要

针对早期研制的激光直写装置存在的刻写速度慢、功能不够完善的缺点,重新设计并搭建了一套小型激光直写光刻系统.该系统采用波长405 nm可高速模拟调制的单横模半导体激光器作为刻写光源,结构更为简单紧凑;采用正弦振荡模式控制纳米平台运动,大幅度提高了刻写速度;增加了刻写光源功率校正功能、基于互补金属氧化物半导体(CMOS)相机的样品观察功能、蓝光共聚焦成像功能以及刻录光源功率衰减以实现一般光刻胶刻写的功能.通过记忆调焦数据,刻写蓝光、辅助聚焦红光以及样品观察绿光三束光分时工作,互不干扰.实验表明,该光刻系统可在光敏薄膜材料上进行打点、刻画矢量和标量图形等多种操作,刻写范围200 μm×200 μm,最少用时100 s,刻写分辨率在250 nm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋	中国科学院上海光学精密机械研究所	205	1855	20.0	37.0
2	徐文东	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	490	11.0	22.0
3	刘涛	中国科学院上海光学精密机械研究所	145	871	16.0	22.0
4	王闯	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	127	6.0	11.0
5	赵成强	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	23	2.0	4.0
6	胡永璐	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0