化学气相沉积法多晶硅生产工艺的研究

• 作者: 王建鑫 田新衍
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 化学气相沉积 工艺控制
• 年，卷（期）: 2014,（13）
• 所属期刊栏目: 生产技术
• 页码范围: 183-184,192
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 3008字
• 语种: 中文

摘要

对化学气相沉积法生产多晶硅的工艺进行了研究。多晶硅生产过程中的温度、流量、压力、物料摩尔比、进料气体分布以及操作安全性是影响多晶硅生产的重要因素，通过生产过程的研究和总结，实现了相关参数控制和安全性的优化，为企业带来了可观效益。