基于纳米多晶硅薄膜压力传感器胎压监测系统

• 作者: 于洋 赵小松 赵晓锋 陈静
• 来源期刊: 传感器技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米多晶硅薄膜压力传感器 胎压监测 MEMS技术 TPMS
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 54-61
• 页数: 8页
• 分类号: TP2

摘要

本文给出纳米多晶硅薄膜压力传感器,由方形硅膜和四个纳米多晶硅薄膜电阻构成惠斯通电桥结构组成,采用MEMS技术在硅片实现传感器芯片制作。当工作电压VDD = 5.0 V时,传感器灵敏度为0.15 mV/kPa,准确度为0.39 %F.S.,可实现轮胎胎压测量。根据胎压传感器特性和NRF24L01无线通信技术,实现胎压监测系统设计。通过无线模块实现实时数据传输,该系统可实现对轮胎胎压的实时监测,保证车辆安全。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵晓锋		27	123	8.0	10.0
2	于洋		11	33	2.0	5.0
3	陈静		3	0	0.0	0.0
4	赵小松		1	0	0.0	0.0