非平面直写式光刻电控系统的研究

• 作者: 宋波 张云鹏 蒲继祖 谢秀镯
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 非平面直写式光刻 振镜扫描 PID 算法 伺服系统
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 46-51
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2450字
• 语种: 中文

摘要

阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成，通过高效的控制方法，提高控制精度，实现工艺要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张云鹏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	3	1.0	1.0
2	蒲继祖	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	0	0.0	0.0
3	谢秀镯	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
4	宋波	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	13	1.0	3.0