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摘要:
多晶硅铸锭生长过程的微晶、位错、隐裂等缺陷严重影响铸锭得料率,通过对多晶硅铸锭过程的研究,分析了控温偶温度、隔热笼提升高度对铸锭工艺的影响.结果表明,对控温偶温度及隔热笼提升高度的优化可以明显消除微晶,改善位错、隐裂等缺陷,显著提高铸锭得料率.
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工艺
消化
经济效益
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 多晶硅铸锭工艺的优化与分析
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 半导体设备 多晶铸锭 定向凝固 优化工艺
年,卷(期) 2015,(7) 所属期刊栏目 材料制造工艺与设备
研究方向 页码范围 11-12,32
页数 3页 分类号 TN304.053
字数 1149字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王锋 中国电子科技集团公司第二研究所 11 24 3.0 4.0
2 张桂芸 中国电子科技集团公司第二研究所 5 4 1.0 2.0
3 周社柱 中国电子科技集团公司第二研究所 6 9 2.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
半导体设备
多晶铸锭
定向凝固
优化工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
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