多晶硅铸锭工艺的优化与分析

• 作者: 周社柱 张桂芸 王锋
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 多晶铸锭 定向凝固 优化工艺
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 材料制造工艺与设备
• 页码范围: 11-12,32
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.053
• 字数: 1149字
• 语种: 中文

摘要

多晶硅铸锭生长过程的微晶、位错、隐裂等缺陷严重影响铸锭得料率,通过对多晶硅铸锭过程的研究,分析了控温偶温度、隔热笼提升高度对铸锭工艺的影响.结果表明,对控温偶温度及隔热笼提升高度的优化可以明显消除微晶,改善位错、隐裂等缺陷,显著提高铸锭得料率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王锋	中国电子科技集团公司第二研究所	11	24	3.0	4.0
2	张桂芸	中国电子科技集团公司第二研究所	5	4	1.0	2.0
3	周社柱	中国电子科技集团公司第二研究所	6	9	2.0	3.0