光刻机微动台的运动解耦及位置控制研究

• 作者: 王伟峰 范文超 陈兴林 魏凯
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微动台 运动解耦 扩张状态观测器 增量式PID
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 工业控制与应用
• 页码范围: 30-35
• 页数: 6页
• 分类号: TP273+.3
• 字数: 3303字
• 语种: 中文

摘要

在分析了光刻机掩膜台微动台(简称微动台)结构的基础上,对微动台的六自由度运动进行了几何解耦,将其分解为两个三自由度上的解耦,并从实际系统的角度出发完成了解耦计算.最后针对微动音圈电机位置控制,提出了基于线性扩张状态观测器的增量式PID控制,并取得了良好的控制效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	范文超	哈尔滨工业大学航天学院	6	48	2.0	6.0
3	魏凯	哈尔滨工业大学航天学院	12	58	2.0	7.0
4	王伟峰	哈尔滨工业大学航天学院	5	43	3.0	5.0