面向激光防护应用的金刚石/V2O5膜系设计与制备

• 作者: 余亚平 冯森 卢文壮 左敦稳 左杨平 张圣斌
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光防护 膜系设计 红外增透 V2O5 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 笠光学技术及应用笠
• 页码范围: 2491-2495
• 页数: 5页
• 分类号: TN214
• 字数: 3498字
• 语种: 中文

摘要

针对目前激光对红外光电传感器的威胁，为满足红外传感器在可见光与3~5μm波段高透射，低于3μm波段高反射的使用要求，采用光学金刚石作为红外窗口材料，采用具有热致相变特性的V2O5薄膜作为激光防护涂层，采用ZnS和YbF3作为高低折射率材料，依据膜系设计理论设计具有抗激光致盲能力的红外增透膜并采用TFCalc优化膜系。采用离子辅助法制备增透膜，采用磁控溅射法在实验制备增透膜上制备V2O5涂层。采用扫描探针显微镜对光学薄膜的表面三维形貌及粗糙度进行测试分析，对薄膜进行红外光谱测试分析，结果满足使用设计要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
3	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
4	冯森	南京航空航天大学机电学院	4	8	1.0	2.0
5	左杨平	南京航空航天大学机电学院	5	19	3.0	4.0
9	张圣斌	南京航空航天大学机电学院	7	26	3.0	5.0
10	余亚平	南京航空航天大学机电学院	6	22	2.0	4.0