激光抛光化学气相沉积金刚石膜

• 作者: 季国顺 张永康
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 激光抛光 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TB32
• 字数: 4299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.02.005

摘要

讨论了激光抛光金刚石膜机理、影响因素,分析了激光抛光金刚石膜理论模型、激光抛光后金刚石膜的粗糙度极限,提出要实现金刚石膜特别是厚膜的精密抛光须考虑激光辅助复合抛光或其它抛光工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永康	江苏大学激光技术研究所	219	3356	29.0	43.0
2	季国顺	江苏大学激光技术研究所	2	53	2.0	2.0