Ga、Al共掺杂及单掺杂ZnO基透明导电薄膜的研究

• 作者: 张长存 王小蕊 马洪芳 马芳 马龙
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 薄膜 共掺杂 微观结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 页码范围: 2685-2689
• 页数: 5页
• 分类号: TB34
• 字数: 2617字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法制备出Ga、Al共掺杂和单掺杂ZnO基透明导电薄膜[ZnO:(Ga,A1) (GAZO),ZnO:Al(AZO)和ZnO:Ga(GZO)],利用XRD、SEM、AFM、四探针电阻率测试仪和可见分光光度计测试技术,分析薄膜的结构、表面形貌和光电性能等.结果表明:薄膜表面光滑,呈六方纤锌矿结构,且沿C轴择优取向;与单掺杂薄膜相比,Ga、Al共掺杂可促进晶体生长,细化晶粒,并在一定范围内提高薄膜的透光率.与纯ZnO薄膜相比,共掺杂和单掺杂薄膜的电阻率均明显降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马芳	山东建筑大学材料科学与工程学院	8	31	4.0	5.0
2	马洪芳	山东建筑大学材料科学与工程学院	39	314	10.0	16.0
6	王小蕊	山东建筑大学材料科学与工程学院	5	21	2.0	4.0
7	马龙	山东建筑大学材料科学与工程学院	2	9	1.0	2.0
8	张长存	山东建筑大学材料科学与工程学院	3	6	1.0	2.0