在砷化镓铟晶体管中应用高压退火技术

• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体管 退火技术 砷化镓铟 高压 应用 退火工艺 阈值电压 量子阱
• 年，卷（期）: bdtxx_2015,（4）
• 页码范围: 32-33
• 页数: 2页
• 分类号: TN32

摘要

美国和韩国的研究者们研发了一种在氢气下的高压退火工艺，应用于铟镓砷量子阱上的AlzO3／HfO3栅堆叠。该项研究的目的在于减少界面和边界处的陷阱，减轻它们对晶体管性能和阈值电压可靠性的负面影响。