沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响

• 作者: 刘星 巩水利 张林 王明娥 王达望 董闯 陆文琪 马国佳
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 关键词: 氮化硼薄膜 溅射 温度梯度法 硬度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 1108-1111
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

采用温度梯度法,通过MW-ECR射频磁控溅射在硅片基底上制备了六方和立方混合的氮化硼薄膜.研究了薄膜的键结构,化学成分和力学性能.结果显示,对于氮化硼立方相的出现存在温度阈值,薄膜的硬度随沉积温度提高而提高.相对于传统薄膜制备方法,温度梯度方法具有更高的效率.