SiO2/Si膜厚标准样品校准相调制型光谱椭偏仪研究

• 作者: 任玲玲 秦林 贾亚斌 陶兴付 高慧芳
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 薄膜 校准 光谱椭圆偏振仪 膜厚 标准样品
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2016.02.04

摘要

椭圆偏振仪(或简称椭偏仪)在薄膜研究领域应用广泛.文章主要研究了相调制型光谱椭偏仪光路准直及参数优化过程,并通过硅上二氧化硅膜厚标准样品测量及数据拟合处理对光谱椭圆偏振仪进行校准.经过光路准直调整和参数优化后的椭圆偏振仪测量膜厚标准样品,拟合测量数据并将显示测量厚度值与标准样品厚度值比较,测量值在不确定范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任玲玲		35	122	6.0	9.0
2	秦林	太原理工大学表面工程研究所	45	309	10.0	16.0
3	陶兴付		9	25	3.0	4.0
4	高慧芳		11	24	3.0	4.0
5	贾亚斌	太原理工大学表面工程研究所	8	40	3.0	6.0