基于PVDF的柔性压力传感器阵列的制备及仿真研究

• 作者: 冯雪 刘思祎 卢凯 李响 林媛 黄文
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: PVDF薄膜 刻蚀 柔性 传感器 阵列 仿真
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TB381
• 字数: 1889字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.03.010

摘要

采用湿法刻蚀制备了基于PVDF薄膜的柔性4×4压力传感器阵列，该传感器具有16个毫米尺寸的电容器单元。使用光学显微镜、原子力显微镜观测了传感器表面形貌，显示电极阵列的界面清晰，PVDF薄膜表面形貌平整。力电耦合效应测试的结果显示传感器的应力输入和电压输出具备高的信噪比和良好的线性关系，力电响应为12×10–3V/kPa。受力-空载响应输出显示，对传感器施加20~80 kPa范围的脉冲压力，得到了输出0.26~0.98 V的电压信号，并且放电时间少于2.5 ms。结合仿真计算研究了传感器阵列之间的电势信号影响，结果表明相邻阵列单元间的信号干扰随着阵列所受压力增加而增加并且呈现线性关系，干扰信号为0.028×10–3V/kPa，在1.4 mm2尺寸时，低于178 kPa压力所产生的干扰信号可以近似忽略。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	14	128	6.0	11.0
2	冯雪	清华大学工程力学系	35	297	11.0	16.0
3	林媛	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	35	4.0	5.0
4	卢凯	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	10	1.0	1.0
5	刘思祎	清华大学工程力学系	1	10	1.0	1.0
6	李响	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	5	43	4.0	5.0