宽带束离子注入机均匀性调节与控制方法研究

• 作者: 张赛 张进学 彭立波 钟新华
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 宽带束 离子注入机 均匀性调节 迭代算法
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2303字
• 语种: 中文

摘要

宽带束离子注入机的均匀性调节系统由线圈磁铁组及可调磁极组组成,通过分析调节原理,结合实际调试中获得的可调磁极组中单个磁极调节的束流均匀性影响曲线,拟合曲线,建立束流均匀性影响模型,进一步推导出调节模型.在实际应用中,设计合理的控制方法,根据束流的实际情况,采用内/外插值法,适时调节束流均匀性影响模型参数组,可改善模型的适应性.经过测试表明,采用基于束流均匀性调节模型的迭代调节方法,可实现束流均匀性调节,测试注入300 mm硅片的方块电阻均匀性达到1.17%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭立波	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	5	2.0	2.0
2	张赛	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	2	1.0	1.0
3	钟新华	中国电子科技集团公司第四十八研究所	8	7	2.0	2.0
4	张进学	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	0	0.0	0.0