离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用

• 作者: 张波 罗晓斌 董皓 辛玉龙
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 离线装料 直拉法硅单晶 降本增效
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 生产与应用
• 页码范围: 83-84
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2|TN304.1
• 字数: 1531字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2016.06.25

摘要

直拉(CZ)单晶硅生长炉是目前世界上最主要的单晶硅生产设备,但其传统的装料工序存在着耗时长、成本高、安全系数低及产品质量低等隐患.采用离线装料技术可使产品合格率稳定在81.4％以上,单炉生产周期缩短了1h左右,单炉每月产能增加15 kg,同时人力成本也得到了相应的控制,真正达到了降本增效的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波		16	20	3.0	4.0
2	罗晓斌		6	9	1.0	3.0
3	辛玉龙		7	2	1.0	1.0
4	董皓		5	0	0.0	0.0