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利用灰度掩膜光刻技术制备螺旋相位片
利用灰度掩膜光刻技术制备螺旋相位片
作者:
周静
杜惊雷
阳泽健
高福华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
涡旋光束
螺旋相位片
轨道角动量
灰度掩膜光刻
摘要:
螺旋相位片(Spiral phase plate简称SPP)是产生轨道角动量光束的一种重要光学器件,在光束调控、量子信息等领域有着重要应用.本文提出了一种基于计算机打印灰度掩膜的螺旋相位片的加工方法,详细讨论了SPP设计方法和光刻工艺,并实验制作了拓扑电荷为3的螺旋相位片,利用马赫-策德尔干涉仪实验对SPP产生涡旋光束进行了检测,获得良好的螺旋相位干涉图.本文的研究结果为低成本、高质量、高效率的螺旋相位片加工技术提供了一种有用途径.
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文献信息
篇名
利用灰度掩膜光刻技术制备螺旋相位片
来源期刊
四川大学学报(自然科学版)
学科
物理学
关键词
涡旋光束
螺旋相位片
轨道角动量
灰度掩膜光刻
年,卷(期)
2016,(5)
所属期刊栏目
材料科学
研究方向
页码范围
1107-1112
页数
6页
分类号
O436.1
字数
3089字
语种
中文
DOI
103969/j.issn.0490-6756.2016.08.025
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
高福华
四川大学物理科学与技术学院
56
392
11.0
16.0
7
周静
四川大学物理科学与技术学院
142
1106
16.0
30.0
14
阳泽健
四川大学物理科学与技术学院
4
5
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二级引证文献(0)
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引证文献(2)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
涡旋光束
螺旋相位片
轨道角动量
灰度掩膜光刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川大学学报(自然科学版)
主办单位:
四川大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
0490-6756
CN:
51-1595/N
开本:
大16开
出版地:
成都市九眼桥望江路29号
邮发代号:
62-127
创刊时间:
1955
语种:
chi
出版文献量(篇)
5772
总下载数(次)
10
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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四川大学学报(自然科学版)2016年第5期
四川大学学报(自然科学版)2016年第4期
四川大学学报(自然科学版)2016年第3期
四川大学学报(自然科学版)2016年第2期
四川大学学报(自然科学版)2016年第1期
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