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摘要:
螺旋相位片(Spiral phase plate简称SPP)是产生轨道角动量光束的一种重要光学器件,在光束调控、量子信息等领域有着重要应用.本文提出了一种基于计算机打印灰度掩膜的螺旋相位片的加工方法,详细讨论了SPP设计方法和光刻工艺,并实验制作了拓扑电荷为3的螺旋相位片,利用马赫-策德尔干涉仪实验对SPP产生涡旋光束进行了检测,获得良好的螺旋相位干涉图.本文的研究结果为低成本、高质量、高效率的螺旋相位片加工技术提供了一种有用途径.
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文献信息
篇名 利用灰度掩膜光刻技术制备螺旋相位片
来源期刊 四川大学学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 涡旋光束 螺旋相位片 轨道角动量 灰度掩膜光刻
年,卷(期) 2016,(5) 所属期刊栏目 材料科学
研究方向 页码范围 1107-1112
页数 6页 分类号 O436.1
字数 3089字 语种 中文
DOI 103969/j.issn.0490-6756.2016.08.025
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 高福华 四川大学物理科学与技术学院 56 392 11.0 16.0
7 周静 四川大学物理科学与技术学院 142 1106 16.0 30.0
14 阳泽健 四川大学物理科学与技术学院 4 5 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
涡旋光束
螺旋相位片
轨道角动量
灰度掩膜光刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川大学学报(自然科学版)
双月刊
0490-6756
51-1595/N
大16开
成都市九眼桥望江路29号
62-127
1955
chi
出版文献量(篇)
5772
总下载数(次)
10
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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