利用灰度掩膜光刻技术制备螺旋相位片

• 作者: 周静 杜惊雷 阳泽健 高福华
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 涡旋光束 螺旋相位片 轨道角动量 灰度掩膜光刻
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 1107-1112
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3089字
• 语种: 中文
• DOI: 103969/j.issn.0490-6756.2016.08.025

摘要

螺旋相位片(Spiral phase plate简称SPP)是产生轨道角动量光束的一种重要光学器件,在光束调控、量子信息等领域有着重要应用.本文提出了一种基于计算机打印灰度掩膜的螺旋相位片的加工方法,详细讨论了SPP设计方法和光刻工艺,并实验制作了拓扑电荷为3的螺旋相位片,利用马赫-策德尔干涉仪实验对SPP产生涡旋光束进行了检测,获得良好的螺旋相位干涉图.本文的研究结果为低成本、高质量、高效率的螺旋相位片加工技术提供了一种有用途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高福华	四川大学物理科学与技术学院	56	392	11.0	16.0
7	周静	四川大学物理科学与技术学院	142	1106	16.0	30.0
14	阳泽健	四川大学物理科学与技术学院	4	5	2.0	2.0